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常用的潔淨室氣流如何分布
日期：2026-08-04 02:06
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摘要：
潔淨室通常有兩者氣流分布方式: 稀釋送風和置換送風。
采用稀釋送風分配方式時，潔淨室空氣由過濾器排出不停地與送風混合，以實現潔淨室內部一致的空氣溫度和濕度。僅從微粒而言，該稀釋動作也能將清潔度略低的潔淨室空氣與清潔過濾後的送風混合。但清潔已分級潔淨室不要用上送上回的氣流方式。
由於上送上回的氣流方式在工程上有著係統簡單、可降低工程造價的優點，對於不散發粉塵的、非無菌產品的低級別的潔淨區，還是可以考慮采用的。
在配備了高效送風口(一般是覆蓋在終端高效過濾器正麵的多孔麵...
潔淨室通常有兩者氣流分布方式: 稀釋送風和置換送風。
采用稀釋送風分配方式時，潔淨室空氣由過濾器排出不停地與送風混合，以實現潔淨室內部一致的空氣溫度和濕度。僅從微粒而言，該稀釋動作也能將清潔度略低的潔淨室空氣與清潔過濾後的送風混合。但清潔已分級潔淨室不要用上送上回的氣流方式。
由於上送上回的氣流方式在工程上有著係統簡單、可降低工程造價的優點，對於不散發粉塵的、非無菌產品的低級別的潔淨區，還是可以考慮采用的。
在配備了高效送風口(一般是覆蓋在終端高效過濾器正麵的多孔麵板)的條件下，稀釋送風分配方式較高可適用於 B 級的潔淨分級區域(ISO7 級)。
如采用置換送風分配設計(例如 A 級區域)，則按單一方向流動的、清潔的、經終端高效過濾器過濾過的空氣，可置換掉潔淨室內的懸浮粒子。該設計要求高效過濾器的作用範圍能連續覆蓋整個天花板，並配備有尺寸規格正確的低位回風或排風口。級別較低的潔淨室 (B 級)可配備多個天花板送風口，其覆蓋率小於 百分之一百以下即可形成向下流動的空氣流模 式(塞狀流)。
A 級區域必須采用置換送風的單向流方式，工藝廢氣的吸風點應盡量靠近其釋放源，利用安裝在終端高效過濾器正麵擴散板的送風，可改善潔淨室的氣流模式，但可能會降低均勻混合度和懸浮粒子的稀釋水平。
